前面曾经提到过，自适应光学系统实在太精贵了，刚问世的时候只有极少数的场合能用得起，一般人只能望洋兴叹。但是，有一个发明却让系统成本大大降低。这是为什么呢？ 1995年，荷兰Delft理工大学（Delft University of Technology, TU Delft）的Vdovin博士和Sarro博士采用集成电路微机械加工工艺研制成功了世界上第一个微机械薄膜变形镜(Micro-machined Membrane Deformable Mirror，简称MMDM)【文献1,2】，也被称为MEMS变形镜。 那什么是变形镜呢？ 普通的镜子，其镜面形状

意大利Dynamic Optics相关问题 1、意大利Dynamic Optics公司的变形透镜是否区分光路方向？ 答：变形透镜的主要结构是双层玻璃，中间填充大折射率的液体介质。透镜的光路方向没有区分，双向都可以透光。 2、意大利Dynamic Optics公司的透镜式变形镜能校正几阶像差？ 答：变形透镜的校正效果如下表所示，可以校正20个波长（约12微米）的倾斜像差、11个波长（约7微米）的垂直像散、8个波长（约5微米）的离焦，等等。 3、变形体透镜对显微成像中的波前畸变

关于荷兰OKO公司的AO产品 一、变形镜 1、什么是MMDM？ MMDM全称是Micro-machined Membrane Deformable Mirror，即“微机械薄膜变形镜”。 荷兰OKO公司是世界上较早生产薄膜变形镜的公司，其制造的MMDM有1、17、37、39、59和79个控制通道。 荷兰OKO公司MMDM的薄膜由一层氮化硅或者氮化物-聚合物-氮化物三明治构成（厚度为0.5 um–10 um）。该薄膜表面再镀一层薄薄的铝或金，能够对入射光产生高反射率。薄膜被固定在硅框架上，并悬浮在许多平面电极上。 利用静电吸引原

自适应光学常用术语 （Glossary of adaptive optics terms） 为了便于技术交流，本栏目列出了自适应光学常用术语和产品手册中的部分专业名词，对其进行了解释。 考虑到部分术语和名字的专业性较强，为便于理解，在保证正确性的前提上用更通俗的语言进行了注释。 如果术语注释存在歧义、错误，或者您有任何疑问、建议、意见，欢迎随时联系我们！我们会及时对相关条目进行修改和完善。 一、一般光学术语（General terms on optics） 1、波前（Wavefront） 光

商品说明 Dynamic Optics的哈特曼波前传感器易于使用，灵活快速，可用于高精度测量和波前校正。控制软件可以和多种型号的相机连接。Dynamic Optics的波前传感器可以测量多个光谱范围，且具有较高的分辨率、精度和帧率。 波前传感器 微透镜阵列 150 um间距，5.2 mm焦距(可定制） 帧率 500 fps（1000 Hz） 传感器尺寸 9 mm*7.13 mm 驱动电压 5 V 通信接口 USB3.0 控制 闭环、开环均可 编程 可通过TCP-IP进行编程

目的： 自适应光学（Adaptive Optics, AO）系统能够校正光在传输过程中由于介质（如大气、水体等）折射率不均而造成的光束波前畸变，提升光束质量、提高图像清晰度、提高激光通信信噪比等。 用途： 通常被应用于天文观测、无线激光通信、激光质量修正、人眼视网膜成像、生物医学成像等领域。 系统组成： 通常包括波前传感器（Wavefront Sensor, WFS）、波前校正器（Wavefront Corrector）、控制器（Controller）三部分。此外，亦有无波前传感器自适应光学系

图1：传感器的实拍图 1、波前传感器的参数 参数 参数值 型号 FS1540-H300-F18-16.04 相机模式 IDS UI-1540LE-M-GL 传感器类型 数字CMOS 数据接口 USB2.0 微透镜排列方式 六角形排列 微透镜阵列间距 0.3 mm 微透镜阵列焦距 18 mm 通光孔径 ≤3.9 mm 微透镜数量 127 最大倾斜度，快速模式 0.008 rad 最大倾斜度，慢速模式 0.066 rad 重复性，RMS λ/150∗ 重复性，PV λ/20∗ 采集速率 ≥25 fps 处理速率，快速模式 ∼10 fps∗∗ 推荐的Zernike阶数 ≤44 波长 400-1000 nm 机械尺寸 见图2 ∗λ=633nm

一、结构： 薄膜变形镜一般采用金属薄膜作为镜面材料，通过微机械加工（MEMS）工艺制成，因此又称MEMS变形镜。 薄膜的边缘固定在周围的框架结构上，薄膜下方有控制电极（见下图）。 薄膜一般具有多层结构，主要包括电介质层(dielectic stack)、金属层(metal)、氮化硅层(Silicon nitride)等。厚度一般为0.5~10微米，直径为5~50毫米。 二、工作原理： 当在薄膜下方的电极上施加电压时，电极和薄膜之间产生静电吸引（eletrostatic attraction），从而导致薄膜发生形

一、薄膜反射镜 硅制微机械薄膜变形镜由OKO公司采用微机械硅体加工技术制备而成。 如图1所示，变形镜由一个安装在同心静电电极结构上的硅芯片组成。该芯片包含多层氮化硅膜，涂上一层特殊的涂层形成镜面。PCB包含控制电极结构、间隔器和连接器。可以使用变形镜外壳结构背面的8个微调整螺钉来调整反射薄膜镜面的初始形状。 图1：变形镜的前后视图。 该装置可用于激光、望远镜、眼科、显示器和一般成像光学中的低阶光学像差（如离焦、像

将波前校正器与光学系统中的像差统计信息进行匹配，可以极大地提高自适应光学系统的性能，降低其价格和复杂性。 介绍 自从Babcock[1]提出自适应光学以来，人们研发出了大量的波前校正器，实现了自适应光学在科学、医学和工业等多个领域中的快速发展。然而，自适应光学的许多应用仍然属于研究人员。绝大多数的科学家对把自适应光学作为一种研发技术来说并不感兴趣。他们只是想把它作为一种无形的工具帮助实现他们的目标，通常与自适应光

Zernike模式的直接控制有利于前馈控制算法和基于优化的自适应光学，如激光内腔AO、自适应图像锐度控制、显微镜智能PSF控制、通过湍流进行随机优化得出最优成像等。在所有这些情况下，Zernike模式的动态控制提供了非常快速和精准收敛到目标函数的最大值。 在这里，我们展示了一个15 mm 37通道OKO微机械薄膜变形镜（MMDM）和30 mm 37通道压电变形镜（PDM），由Zernike多项式在前馈控制模式下操作。在反射镜操作期间不使用波前传感器。两个镜像都由我们

在这篇文章中，我们展示了一个完整的闭环自适应光学系统的面包板系统，该系统可用于教育目的，或用于变形镜、波前传感器和控制软件的测试。 完整的AO系统搭建在45x30厘米的面包板上，包括点光源、像差模拟发生器（可选）、变形镜和Shack-Hartmann 波前传感器。 系统的照片示意图（1）示意图（2） 激光二极管、针孔和透镜L1形成一束准直的激光。 一个动态像差被引入入瞳中，由由一个旋转的圆盘构成的光阑D定义。圆盘的切口部分对于可变形镜的

在这篇文章中，我们展示了一个完整的闭环自适应光学系统的面包板系统，该系统可用于教育目的，或用于变形镜、波前传感器和控制软件的测试。 完整的AO系统搭建在45x30厘米的面包板上，包括点光源、像差模拟发生器（可选）、变形镜和Shack-Hartmann 波前传感器。 系统的照片示意图（1）示意图（2） 激光二极管、针孔和透镜L1形成一束准直的激光。 一个动态像差被引入入瞳中，由由一个旋转的圆盘构成的光阑D定义。圆盘的切口部分对于可变形镜的

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